特种气体

a、氖气

序号

测点

测量级别

原理

1

氮浓度

PPM

等离子发射

2

氧、氩、氮、二氧化碳、碳氢杂质浓度

PPM

色谱

3

氢、氦杂质浓度

PPM

离线色谱

4

露点浓度

PPM

光腔衰荡

 

b、氮气

序号

测点

测量级别

原理

1

氧浓度

PPM

电化学

2

总烃浓度

PPM

氢火焰离子化

3

露点

PPM

三氧化二铝

 

c.氩气

序号

测点

测量级别

原理

1

氧浓度

PPM

电化学

2

氮、露点、甲烷、一氧化碳、二氧化碳杂质浓度

PPM

色谱

3

氩浓度

常量

热导

4

氧浓度

常量

磁氧/电化学